光纤预制棒用四氯化硅充装规范

Specification for filling of silicon tetrachloride for optical fiber preform

标准介绍

本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅充装用容器、充装准备、充装操作、交付以及安全说明的要求。本标准适用于光纤预制棒用四氯化硅的充装，光纤预制棒用四氯化锗、半导体用四氯化硅、三氯氢硅、六氯乙硅烷等高纯液体化工产品的充装可参照使用。

提出部门

中国电子材料行业协会

发布部门

中国电子材料行业协会