硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

Norm of energy consumption per unit products for monocrystalline silicon and silicon wafers

标准介绍

本标准规定了硅单晶和硅单晶片单位产品能源消耗（以下简称能耗）限额的要求、计算原则、计算范围、计算方法和节能管理与措施。
本标准适用于硅单晶，包括半导体级硅单晶、太阳能级硅单晶；硅单晶片，包括半导体器件用硅单晶片和光伏太阳能电池用硅单晶片（以下统称硅片）生产企业产品能耗的计算、考核以及对新建项目的能耗控制。

提出部门

上海市发展和改革委员会、上海市经济和信息化委员会、上海市质量技术监督局

发布部门

上海市质量技术监督局