光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

Technical specification for container cleaning of silicon tetrachloride for optical fiber preform

标准介绍

本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。本标准适用于光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗，光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙硅烷等液体化工产品容器的清洗可参照使用。

提出部门

中国电子材料行业协会

发布部门

中国电子材料行业协会