碳化硅晶片边缘轮廓检测方法

Test methods for edge contour of silicon carbide wafers

标准介绍

本文件规定了碳化硅晶片边缘轮廓（包含切口）的检测方法。 本文件适用于检测倒角后碳化硅晶片的边缘轮廓（包含切口），其他材料晶片边缘轮廓的检测可参照本文件执行。

提出部门

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

发布部门

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟