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  • 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

    Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry

  • 标准编号:GB/T 35306-2017 被代替 发布日期: 2017-12-29 实施日期: 2018-07-01 标准ICS号:77.040 中标分类号:H17
  • 标准介绍

    本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的测定。本标准测定碳、氧含量的有效范围从5×1014 atoms·cm-3(0.01 ppma)到硅中代位碳和间隙氧的最大固溶度。

  • 提出部门

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 发布部门

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

关联标准

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