工业用热传导真空计校准规范

Calibration Specification for Industrial Thermal Conductivity Vacuum Gauges

标准介绍

本规范适用于测量范围为5.0×10-2 Pa～1.0×105 Pa工作用热传导真空计的校准。

提出部门

发布部门

国家市场监督管理总局