洁净室及相关受控环境　第17部分：粒子沉积速率应用

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 17:Particle deposition rate applications

标准介绍

作为污染控制计划的一部分，本文件对洁净室易损表面上粒子沉积速率（PDR）测量结果的解释和应用提供了指导。提供了PDR的影响因素和降低易损表面上粒子污染风险的说明。
本文件提供了洁净室测量PDR来确定易损表面上大粒子的可接受浓度限值和风险评估方法，能确定粒子沉积到易损表面的可接受风险。当风险不可接受时，则需要采取洁净控制措施来降低PDR。
粒子遮蔽速率（POR）是一种替代PDR的方法，其定义为粒子在表面上随时间增加的覆盖率。POR的使用方式与PDR类似，也用于计算指定表面所需的POR，以降低沉积粒子的风险。
本文件：
——不提供根据PDR或POR对洁净室的分级方法；
——不直接考虑沉积的携带微生物粒子的活性；
——不考虑通过接触产生的表面沉积，例如人员触摸产品导致的污染。

提出部门

全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会