Test method for substitutional carbon content in silicon by infrared absorption
本文件描述了硅中代位碳原子含量的红外吸收测试方法。
本文件适用于电阻率大于3 Ω·cm的p型硅单晶片及电阻率大于1 Ω·cm的n型硅单晶片中代位碳原子含量的测试(室温下测试范围:5×1015 cm-3至硅中碳原子的最大固溶度;温度低于80 K时测试范围:不小于5×1014 cm-3)。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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