Print display—Measuring method of film uniformity
本文件描述了打印显示薄膜均匀性的测试方法,主要包括子像素均匀性、相邻子像素均匀性、短程均匀性测试方法。
本文件适用于使用探针式表面轮廓仪(以下称台阶仪)和白光干涉仪对厚度范围为5 nm~105 nm的打印显示薄膜均匀性的测试。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
纸质版标准加购成功
电子版标准加购成功
标准收藏成功