电子元器件　半导体器件长期贮存　第7部分：微电子机械器件

Electronic components—Long-term storage of electronic semiconductor devices—Part 7:Micro-electromechanical devices

标准介绍

本文件规定了微电子机械器件(MEMS)长期贮存方法和推荐条件，包括运输、控制以及贮存设施安全。长期贮存是指产品预计贮存时间超过12个月的贮存。本文件也提供了有效进行微电子机械器件长期贮存的原则、良好工作实践和一般方法。

提出部门

中华人民共和国工业和信息化部

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会