产品几何技术规范(GPS)　表面结构：区域法　第700部分：区域形貌测量仪器的校准、调整和验证

Geometrical product specifications(GPS)—Surface texture:Areal—Part 700:Calibration,adjustment and verification of areal topography measuring instruments

标准介绍

本文件规定了用于校准、调整和验证ISO 25178-600中所述的区域形貌测量仪器共性计量特性的通用程序。由于表面轮廓可以从表面形貌图像中提取，因此本文件描述的大多数方法可以适用于轮廓法测量仪器。
本文件不涉及仪器特定的问题。例如，对于探头按照弧形运动的机械式探测仪器，ISO 25178-701中规定了额外的测量标准。
本文件不涉及ISO 25178-6中规定的区域整体法（例如用于表面形貌测量的光散射法）的程序。

提出部门

全国产品几何技术规范标准化技术委员会(SAC/TC 240)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会