柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法

Measurement of coating thickness on flexible film substrate

标准介绍

本标准规定了柔性薄膜基体上涂层（包含有机、无机与金属涂层)厚度扫描电子显微镜测量的基本方法及原理、标准样品和仪器设备、操作方法、数据处理的方法。本标准适用于厚度不大于3 mm的柔性薄膜基体上厚度为10 nm～0.5 mm的涂层的厚度测量。

提出部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会