光电系统中光学中心间距的测定　低相干干涉测量法

Determination of optical center distance in photoelectric system—Low coherence interferometry

标准介绍

本文件描述了采用低相干干涉法测量光电系统中光学中心间距的原理、测量条件、测量设备、测量步骤以及测量数据处理。
本文件适用于光电系统中光学中心间距的测量，光学平板厚度的测量参照使用。

提出部门

中国科学院

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会