光学功能薄膜　微结构厚度测试方法

Optical functional films—Measurement method for microstructure thickness

标准介绍

本文件描述了通过扫描电子显微镜(SEM)检测光学功能薄膜(以下简称薄膜)横截面微结构厚度(以下简称横截面厚度)的方法。
本文件适用于厚度不小于50 nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。

提出部门

中国石油和化学工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会