静电控制参数实时监控系统通用规范

General specification for real-time monitoring system of electrostatic control parameter

标准介绍

本文件给出了静电控制参数实时监控系统（以下简称“监控系统”）的架构和静电控制参数类型，规定了监控系统的功能要求和性能要求，描述了对应的测试方法。
本文件适用于监控系统的研发、设计、生产、检验和使用。

提出部门

中华人民共和国工业和信息化部

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会