洁净室及相关受控环境　空气化学污染控制指南

Cleanrooms and associated controlled environments—Guidelines for airborne chemical contamination control

标准介绍

本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。
本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。
本标准不适用于核能和军事应用。

提出部门

全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会