微束分析 分析电子显微术　用于电子能量损失谱元素分析的能量标尺校准程序

Microbeam analysis—Analytical electron microscopy—Calibration procedure of energy scale for elemental analysis by electron energy loss spectroscopy

标准介绍

本文件描述了在透射电子显微镜或扫描透射电子显微镜中电子能量损失谱的能量步长和能量标尺的校准程序。
本文件适用于进行元素分析之前的电子能量损失谱的校准，校准能量范围在0 eV～3000 eV。
本文件适用于分析薄试样透射电子的电子能量损失谱，不适用于分析块体试样背散射电子的电子能量损失谱。

提出部门

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会