真空技术　真空计　电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度

Vacuum technology—Vacuum gauges—Specifications,calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges

标准介绍

本文件界定了电容薄膜真空计（CDG）的相关术语，规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数，描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG，并作为参考标准时的一个补充说明。

提出部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会