微机电系统(MEMS)技术　微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

标准介绍

本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm～150 μm、深宽比为0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。
本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。

提出部门

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会