洁净室及相关受控环境　空气化学污染控制技术要求

Cleanroom and associated controlled environments—Technical requirements of air chemical contamination control

标准介绍

本文件规定了洁净室及相关受控环境空气化学污染物控制技术要求，包括污染源、空气化学污染控制、检测与监测等内容。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中的空气化学污染控制。

提出部门

全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会