微系统用生产设备　末端执行器与处理器的接口

Production equipment for microsystems—Interface between end effector and handling system

标准介绍

本标准规定了微系统生产设备中末端执行器和操纵系统之间的接口要求，以及手动和自动更换的末端执行器的基本偏差、公差和标识。其目的是随着规格的增大在三个层面上规定末端执行器接口。
本标准适用于微系统用生产设备。

提出部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会