微机电系统(MEMS)技术　MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments

标准介绍

本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。

提出部门

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会