微束分析　电子探针显微分析　波谱法定性点分析导则

Microbeam analysis—Electron probe microanalysis—Guidelines for qualitative point analysis by wavelength dispersive X-ray spectrometry

标准介绍

本文件给出了用电子探针显微分析仪或者扫描电镜的波谱仪附件获得试样特定体积内（μm3尺度）的X射线谱进行元素鉴别和确认特定元素存在的方法。

提出部门

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会