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Gold and gold alloy targets
本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材(以下简称“靶材”)。
中国有色金属工业协会
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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