Vacuum technology—Vocabulary
本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语,及上述术语的定义。
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流,以及编写相关技术文件和书刊。
中国机械工业联合会
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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