纳米定位与扫描平台术语

Terminology for nano positioning and scanning stage

标准介绍

本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。

提出部门

全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会