洁净室及相关受控环境　检测技术要求与应用

Cleanrooms and associated controlled environments—Technical requirements and application of testing

标准介绍

本文件给出了洁净室及相关受控环境的检测项目与相关应用领域，规定了检测技术要求，提供了检测方法的应用建议。
本文件适用于洁净室及相关受控环境的检测。

提出部门

全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会