氧化铟锡靶材

Indium-tin oxide target

标准介绍

本文件规定了氧化铟锡靶材（以下简称ITO 靶材）的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标
志、包装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于由In2O3 和SnO2 粉末按照一定比例混合，以常压烧结工艺生产的氧化铟锡靶材，是制
作透明导电薄膜的核心材料。

提出部门

中国有色金属工业协会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会