电子气体　二氧化碳

Electronic gas—Carbon dioxide

标准介绍

本文件规定了二氧化碳的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于由高纯二氧化碳经纯化制备的电子用二氧化碳。

提出部门

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会