物理气相沉积多层硬质涂层的成分、结构及性能评价

Composition, structure and properties of PVD multi-layer hard coatings

标准介绍

本文件描述了常用的物理气相沉积(PVD)法制备的多层硬质涂层的成分、结构和性能的评价方法。本文件适用于利用真空沉积法如蒸发、溅射或相关的非化学方法制备产生的涂层材料。

提出部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会