表面化学分析　X射线光电子能谱分析方法通则

Surface chemical analysis—General rules for X-ray photoelectron spectroscopic analysis method

标准介绍

本文件规定了X射线光电子能谱（XPS）的一般表面分析方法的通用要求。
本文件界定了XPS相关的表面化学分析术语。
本文件适用于X射线光电子能谱仪。

提出部门

全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会