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  • 电子级多晶硅

    Electronic-grade polycrystalline silicon

  • 标准编号:GB/T 12963-2022 现行 发布日期: 2022-12-30 实施日期: 2023-07-01 标准ICS号:29.045 中标分类号:H82
  • 标准介绍

    本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅(以下简称“多晶硅”)。

  • 提出部门

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 发布部门

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

关联标准

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关联法规

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