微机电系统(MEMS)技术　带状薄膜抗拉性能的试验方法

Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films

标准介绍

本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。

提出部门

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会