半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)测量方法

Test method for semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)

标准介绍

本文件描述了半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的测量方法。
本文件适用于半导体设备的可靠性、可用性和维修性（RAM）测试。

提出部门

全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会