氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定　电感耦合等离子体发射光谱法

Determination of iron,aluminum and calcium of silicon nitride powder—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry

标准介绍

本文件描述了氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的电感耦合等离子体发射光谱测定方法。
本文件适用于氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定，测定范围为0.001 mg/g~4.00 mg/g。

提出部门

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会