Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM:Calibration of measuring systems
本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜(SPM)扫描轴的表征和校准方法,适用于提供进一步校准的测量系统,而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
本文件旨在:
——通过对长度单位溯源,提高SPM几何量测量结果的可比性;
——明确校准程序及验收条件的最低要求;
——确认被校准仪器的能力(赋予仪器“校准能力”所属的类别);
——规定校准的范围(测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性);
——根据ISO/IEC Guide 98-3,提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度;
——规定报告结果的要求。
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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