表面化学分析　扫描探针显微术　采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准

Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM:Calibration of measuring systems

标准介绍

本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
本文件旨在：
——通过对长度单位溯源，提高SPM几何量测量结果的可比性；
——明确校准程序及验收条件的最低要求；
——确认被校准仪器的能力（赋予仪器“校准能力”所属的类别）；
——规定校准的范围（测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性）；
——根据ISO/IEC Guide 98-3，提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度；
——规定报告结果的要求。

提出部门

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会