Laser lift-off equipment used for GaN
本标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN)基外延层进行剥离的设备,氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
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