表面化学分析　X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息　含碳化合物表面污染的识别和校正规则

Surface chemical analysis—Near real-time information from the X-ray photoelectron spectroscopy survey scan—Rules for identification of,and correction for,surface contamination by carbon-containing compounds

标准介绍

本文件描述了对材料薄膜进行协助表面分析的方法，这些薄膜不含有碳化合物作为预期成分，但在全扫描谱中观察到C 1s峰。这些薄膜可通过有氧或电化学氧化在金属和合金上生成，也可沉积在惰性基底上的。所述程序不适用于在基底上颗粒的不连续沉积。除此之外，还提供了一个可从含碳的表面污染物中识别C 1s信号的简单程序。当C 1s峰被确定为来自于外来的覆盖层时，从全谱中得出的成分可针对其影响进行校正。建议的程序以“如果-则”格式的简单规则结构形式所提供，目的是让它们所包含的信息可被数据系统中的自动化程序所利用。所提供的规则仅利用从XPS全扫描（谱）中检索的信息。

提出部门

全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会