碳基薄膜　椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry

标准介绍

本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。

提出部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会