微束分析　聚焦离子束　透射电镜试样制备方法

Microbeam analysis—Focused ion beam—Preparation of TEM specimens

标准介绍

本文件规定了聚焦离子束法制备透射电镜试样的仪器设备、环境与样品要求、试样制备和试验记录。
本文件适用于金属材料，半导体、矿物等无机非金属材料及高分子材料等固态材料的透射电镜试样制备。
本文件适用于各种类型的聚焦离子束场发射扫描电镜双束系统，单束系统和多束系统参照执行。

提出部门

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会