纳米技术　微区表面及亚表面表征　光学暗场共焦显微法

Nanotechnologies—Characterization of micro surface and sub surface—Optical dark-field confocal microscopy

标准介绍

本文件描述了采用光学暗场共焦显微镜对微区表面及亚表面的表征方法。
本文件适用于固体材料。

提出部门

中国科学院

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会