高纯镍靶材

High purity nickel target

标准介绍

本文件规定了高纯镍靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于半导体行业用的高纯镍靶材。

提出部门

中国有色金属工业协会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会