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  • 硅片边缘轮廓检验方法

    Test methods for edge contour of silicon wafers

  • 标准编号:YS/T 26-2016 现行 发布日期: 2016-07-11 实施日期: 2017-01-01 标准ICS号:77.040 中标分类号:H21
  • 标准介绍

    本标准规定了硅片边缘轮廓(包含切口)的检验方法。
    本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓(包含切口),砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。

  • 提出部门

    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

  • 发布部门

    中华人民共和国工业和信息化部

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