Test methods for edge contour of silicon wafers
本标准规定了硅片边缘轮廓(包含切口)的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓(包含切口),砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
中华人民共和国工业和信息化部
纸质版标准加购成功
电子版标准加购成功
标准收藏成功