电子探针定量分析方法通则

General specification for EPMA quantitative analysis

标准介绍

本文件规定了电子探针显微分析仪（电子探针)定量分析的仪器设备、标准样品、试样制备、测量前的准备、测量条件的选择、测量过程、电子束入射电流的测量、各元素质量分数的计算、测量不确定度的评定和结果报告。
本文件适用于电子探针对试样中各元素的定量测量及数据处理，带有波谱仪的扫描电镜的定量分析参照执行。

提出部门

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会