洁净室及相关受控环境　静电控制技术要求

Cleanrooms and associated controlled environments—Technical requirements of electrostatic control

标准介绍

本文件给出了洁净室及相关受控环境中的静电来源和危害，规定了洁净室及相关受控环境中适用的静电控制技术要求。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中的静电控制。

提出部门

全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会