衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜　方块电阻的无损测试　四探针法

Nano, sub-micron scale film on substrate—Non-destructive test method of sheet resistance—Four probe method

标准介绍

本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定，方块电阻测试范围为1×10-4 Ω~1×104 Ω。

提出部门

江苏省石墨烯检测标准化技术委员会

发布部门

江苏省市场监督管理局