表面化学分析　X射线光电子能谱　均匀材料中元素检测限的评估和报告

Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Estimating and reporting detection limits for elements in homogeneous materials

标准介绍

本文件描述了在常规分析条件下从特定样品获得的X射线光电子能谱(XPS)数据中评估元素检测限并给出报告的程序。本文件适用于均匀材料，对XPS信息深度内元素深度分布不均匀的材料不适用。

提出部门

全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会