表面化学分析　电子能谱　X射线光电子能谱分析中X射线致材料非预期损伤的识别、评估和校正程序

Surface chemical analysis—Electron spectroscopies—Procedures for identifying,estimating and correcting for unintended degradation by X-rays in a material undergoing analysis by X-ray photoelectron spectroscopy

标准介绍

本文件规定了X射线光电子能谱(XPS)分析中，由X射线辐照导致试样元素组成或化学态的非预期性损伤的识别、评估和校正方法的要求。
本文件仅适用于X射线引起的非预期性损伤，导致光电子谱峰强度的降低或增加小于30%。本文件不涉及不同类型材料之间的比较，也不涉及发生损伤的机制、深度或化学性质。

提出部门

全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会