表面化学分析　扫描探针显微术　用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准

Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes(ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

标准介绍

本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（scanning capacitance microscope，SCM）或扫描扩展电阻显微镜（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。

提出部门

全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会