金属及其他无机覆盖层　镀层厚度的测量　斐索多光束干涉法

Metallic and other non-organic coatings—Measurement of coating thicknesses—Fizeau multiple-beam interferometry method

标准介绍

本文件描述了金属及其他无机覆盖层镀层厚度测量的斐索多光束干涉方法。
本文件适用于采用斐索多光束干涉法对最大厚度不超过2 μm且反射率高的金属及其他无机覆盖层镀层厚度的测量。
本文件不适用于搪瓷类覆盖层的测量。

提出部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会